三坐標測量機作為一種制造業普遍認可的測量方式。使用三坐標進行測量時，平面度測量是幾何量評價的基本內容，是１４類誤差測量中基本也是具有代表性的。

    平面度，是屬于形位公差中的一種，指物體表面具有的宏觀凹凸高度相對理想平面的偏差。在傳統的檢測方法中，平面度的測量通常有：液平面法、激光平面干涉儀測量法（平晶干涉法）、水平儀/數字水平儀測量法等。

    如今，用三坐標測量平面度原理和方法平面度公差用以限制平面的形狀誤差。其公差帶是距離為公差值的兩平行平面之間的區域。 三坐標在測量平面度時，在平面上采取數個測量點。

    平面度公差用以限制平面的形狀誤差。其公差帶是距離為公差值的兩平行平面之間的區域。三坐標在測量平面度時，在平面上采取數個測量點，用測量點以最小二乘法擬合一個平面，包容所有測量點的兩個平行平面間的距離為平面度。這兩個平行平面平行于擬合的最小二乘平面。最小二乘法的原理是，所有測量點距離擬合元素（平面、直線、圓、圓柱）的距離的平方和最小。

    應用三坐標測量平面度時需要注意，針對工件選擇對應的三坐標測頭配置，粗糙度不同的平面，對平面度的要求是不一樣的。粗糙度越大的平面，盡量選擇直徑較大的探針。導入CAD模型時選擇導入ICES文件，建立好工件坐標系讓模型與工件對齊，使用面選擇器選擇樣件的上表面作為實驗案例，紅色離亮部分為待測區。

    一般情況下，三坐標對平面度測量點數越多反應的被測平面的平面度越真實。平面度測量，無論采用哪種法則，都至少要測４點。因此首先要規劃測量路徑，根據被測平面的長寬為80X80，我們可以編輯一個柵格點的測量路徑，也可以把我們從CAD上選取的平面PLN1拖人“測量”模塊的“面”圖功能，在數顯取設置測量點數為80后點擊“生成測量點”，檢查生成的測量路徑，點擊“測量”

    完成上述測量步驟，評估平面度：切換到“公差”模塊的“平面度”功能，拖入已測量的實際平面PLN1到元素名如圖6，輸入公差帶0.02點擊“定義公差”確認設置，完成被測平面的平面度公差評估。

平面度測量數據處理

    三坐標的平面度計算方式與以往所熟悉的計算方法不一樣，不需要使用計算法、作圖法、對角線發等求取平面度的誤差值。都是通過軟件自動計算出被測面得平面度公差，我們只需要輸出公差報告就可以直觀看出平面誤差的“圖形錯誤報告”。

    在高精度測量領域，思瑞測量公司的croma三坐標測量機產品以其在硬件和軟件配置上具有的優勢，使用三坐標進行采點測量工作時，為保證測量結果真實可信，應予充分重視。不論是形狀誤差、還是位置誤差，或者尺寸的測量，有了正確的測點信息，才能保證計算評價的真實性。